現(xiàn)在很多的企業(yè)因?yàn)樯a(chǎn)的需要會(huì)引入各種不同的生產(chǎn)設(shè)備，這些設(shè)備需要進(jìn)行大功率運(yùn)轉(zhuǎn)，所以在**程度上來說，會(huì)對(duì)電壓電流有所要求。尤其是在一些化工產(chǎn)品的生產(chǎn)上，設(shè)備中電流電壓維持在比較穩(wěn)定的水準(zhǔn)之后，其實(shí)可以帶來更高的生產(chǎn)效率。RF射頻電源也算是現(xiàn)在很多企業(yè)生產(chǎn)過程中常用的設(shè)備之一，這種設(shè)備使用頻率較高，而且經(jīng)常會(huì)遇上各種不同的生產(chǎn)環(huán)境，操作手法，出現(xiàn)故障也不奇怪。

 

射頻電源的用途及工作原理是射頻電源是用于鍍膜設(shè)備中旅，通過該設(shè)備中的功放模塊產(chǎn)生高頻電壓、電流，將常規(guī)使用的220V電壓和頻率50/60MHZ轉(zhuǎn)換為可變的13.56MHZ電壓電流。在半導(dǎo)體制造行業(yè)中，在生產(chǎn)芯片、處理器等半導(dǎo)體器件、薄膜太陽(yáng)能電池、液晶等平板顯示器過程中，都要用到這種電源。是產(chǎn)生等離子體的配套電源,由射頻功率源，阻抗匹配器以及阻抗功率計(jì)組成，是八十年末期在我國(guó)新興的高科技領(lǐng)域，應(yīng)用于射頻濺射，PECVD 化學(xué)氣相沉積，反應(yīng)離子刻蝕等設(shè)備中。

 

RF射頻電源維修可以通過兩方面來進(jìn)行，一方面是斷電情況下的觀察，另一方面是加電進(jìn)行測(cè)試。在斷電情況下，可以通過“看、聞、問、量”來確定開關(guān)電源的損壞原因。

 

 

看：RF射頻電源維修的外殼，檢查保險(xiǎn)絲是否熔斷，再觀察電源的內(nèi)部情況，如果發(fā)現(xiàn)電源的PCB板上有燒焦處或元件破裂，則應(yīng)檢查此處元件及相關(guān)電路元件。聞：聞一下電源內(nèi)部是否有糊味，檢查是否有燒焦的元器件。問：?jiǎn)栆幌码娫磽p壞的經(jīng)過，是否對(duì)電源進(jìn)行違規(guī)操作。量：沒通電前，用萬用表量一下高壓電容兩端的電壓。如果是開關(guān)電源不起振或開關(guān)管開路引起的故障，則大多數(shù)情況下，高壓濾波電容兩端的電壓未泄放悼，此電壓有300多伏，需小心。用萬用表測(cè)量AC電源線兩端的正反向電阻及電容器充電情況，電阻值不應(yīng)過低，否則電源內(nèi)部可能存在短路。電容器應(yīng)能充放電。脫開負(fù)載，分別測(cè)量各組輸出端的對(duì)地電阻，正常時(shí)，表針應(yīng)有電容器充放電擺動(dòng)，并且指示的應(yīng)為該路的泄放電阻的阻值。

 

RF射頻電源維修不僅僅是局限于電源本身，很多時(shí)候還想要根據(jù)其他的聯(lián)系因素來判斷，現(xiàn)在維修人員也會(huì)對(duì)這種類型的電源進(jìn)行數(shù)據(jù)記錄，以便后續(xù)出現(xiàn)問題的時(shí)候可以作為參考對(duì)比資料。